近日，海目星攜手福州大學(xué)成功研制出國(guó)內(nèi)首款晶圓級(jí)Micro LED芯片非接觸電致發(fā)光檢測(cè)工程樣機(jī)FED-NCEL，有效解決Micro LED行業(yè)共性檢測(cè)技術(shù)問(wèn)題，填補(bǔ)了行業(yè)關(guān)鍵領(lǐng)域空白，引領(lǐng)我國(guó)高速高精半導(dǎo)體顯示行業(yè)邁向高質(zhì)量發(fā)展新階段。
2015年開(kāi)始，福州大學(xué)吳朝興教授團(tuán)隊(duì)開(kāi)展LED非接觸電致發(fā)光原理研究，隨后提出Micro LED芯片的無(wú)接觸電致發(fā)光檢測(cè)方案，即在外部檢測(cè)電極與Micro LED芯片之間不接觸的情況下實(shí)現(xiàn)LED芯片的電致發(fā)光。在該模式中，外部電極不是為L(zhǎng)ED注入載流子，而是用于形成垂直于LED多量子阱層的電場(chǎng)，從而 “隔空”點(diǎn)亮LED芯片。
這種檢測(cè)方法既避免了傳統(tǒng)檢測(cè)方法在檢測(cè)過(guò)程中對(duì)Micro LED芯片造成的物理性損壞，又避免了光致發(fā)光檢測(cè)造成的芯片良品率“虛高”的現(xiàn)象。除此之外，還能避免自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)在檢測(cè)過(guò)程中將表面形貌完好但無(wú)法發(fā)光的Micro LED芯片誤判為正常芯片的情況。
2024年，海目星攜手福州大學(xué)吳朝興教授團(tuán)隊(duì)，開(kāi)展復(fù)雜電磁環(huán)境中的“機(jī)械-電氣-發(fā)光-采集”功能模組的設(shè)計(jì)與整合，以及控制與光電采集信號(hào)的同步，成功研制晶圓級(jí)Micro LED芯片的非接觸電致發(fā)光檢測(cè)工程樣機(jī)FED-NCEL，突破產(chǎn)業(yè)化“最后一公里”。
基于該樣機(jī)的研發(fā)成果，可對(duì)紅、綠、藍(lán)Micro LED外延片、晶圓（COW）以及轉(zhuǎn)移到臨時(shí)載板的芯片（COC）進(jìn)行無(wú)接觸電致發(fā)光檢測(cè)。
樣機(jī)高精度、高穩(wěn)定性、高效率的技術(shù)特點(diǎn)，極大提升了工藝良率水平，降低制造成本，為我國(guó)Micro LED產(chǎn)業(yè)提供了本土化的解決方案，以高質(zhì)量創(chuàng)新助推行業(yè)躍進(jìn)。
■ 檢測(cè)實(shí)例：
紅光COC氮化鎵Micro LED芯片檢測(cè)
紅、綠、藍(lán)COW氮化鎵Micro LED芯片檢測(cè)
由圖可見(jiàn)，晶圓級(jí)Micro LED芯片的非接觸電致發(fā)光檢測(cè)不受芯片位置影響，可以較好地隔空點(diǎn)亮芯片。
據(jù)了解，海目星身為新型顯示產(chǎn)業(yè)鏈上的領(lǐng)先企業(yè)，不斷在全球賽道中搶占技術(shù)高地，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。2024年7月，海目星與福州大學(xué)合資成立深圳海納半導(dǎo)體裝備有限公司，聚焦各類新型顯示及第三代半導(dǎo)體檢量測(cè)設(shè)備，為提升行業(yè)良率提供高速高精的解決方案。今年4月，海目星還與閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室正式成立“半導(dǎo)體檢量測(cè)裝備研發(fā)中心”，進(jìn)一步深化產(chǎn)學(xué)研融合，賦能半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。
海目星、閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室成立研發(fā)中心
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