隨著信息及電子發(fā)展的速度使得觸控式顯示面板的應(yīng)用越來(lái)越普遍，目前觸控式面板在全球已開(kāi)始自成一項(xiàng)產(chǎn)業(yè)，作為一項(xiàng)先進(jìn)的計(jì)算機(jī)輸入設(shè)備，它是目前最簡(jiǎn)單、方便、自然的而且又適用于多媒體信息查詢裝備，觸控面板具有堅(jiān)固耐用、反應(yīng)速度快、節(jié)省空間、易于交流等許多優(yōu)點(diǎn)。依目前觸控式面板的工作原理和傳輸信息的介質(zhì)，可將其分為：電阻式、電容式、紅外線式及表面聲波式，其中以電阻式觸控面板為市場(chǎng)主流，其市場(chǎng)規(guī)模約占整體觸控面板市場(chǎng)之59%，電容式為次之，約占22%。而電阻式與電容式的觸控面板皆需要有透明導(dǎo)電膜層（TCO）來(lái)產(chǎn)生觸控動(dòng)作的電場(chǎng)感應(yīng)，大部份的透明導(dǎo)電膜材料以氧化銦錫（ITO）為主。
ITO是所有透明導(dǎo)電膜（TCO）中，其導(dǎo)電性與透光率表現(xiàn)最為優(yōu)良的氧化膜，而應(yīng)用在觸控面板的透明導(dǎo)電膜層除了需具備高穿透以及良好的電阻率，另外需要均勻的電阻分布以偵測(cè)精準(zhǔn)的觸控位置，以及可長(zhǎng)期使用的高穩(wěn)定電性，以因應(yīng)觸控面板的廣泛應(yīng)用，其中以航天軍用、工業(yè)與車用等應(yīng)用端的環(huán)境測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)更是比信息產(chǎn)業(yè)所使用的面板來(lái)得嚴(yán)格許多，所以ITO薄膜的環(huán)境測(cè)試能力是此應(yīng)用上重要的考量因素。應(yīng)用在觸控面板的ITO的面電阻較高（常見(jiàn)的面阻抗約300~1000），為了達(dá)到要求的高面電阻，透明導(dǎo)電膜的膜厚需要變得很薄，超薄的膜厚會(huì)產(chǎn)生許多問(wèn)題，包括電性的不穩(wěn)定、面阻抗的不均勻、環(huán)境測(cè)試能力變差。
本論文即要探討ITO膜厚對(duì)于這些特性的相對(duì)關(guān)系，并考量面電阻、穿透率、環(huán)境測(cè)試與生產(chǎn)成本，以評(píng)估最佳的ITO薄膜厚度，并且透過(guò)優(yōu)化DC磁控濺鍍的制程參數(shù)以符合觸控面板的透明導(dǎo)電膜之要求，此乃本論文研究方向。
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